Proceedings of the workshop on refractory metal silicides for VLSI II, 14-17 May 1984, St. Francis Retreat Center, San Juan Bautista, California
- Författare
- Workshop on refractory metal silicides for VLSI II 1984) (San Juan Bautista :
- (Special ed. for the proceedings: Michael D. Strathman sponsored by the American vacuum society.)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| AIP for the AVS | 1984 | USA, New York | S. 693-784 diagr., ill., tab. |