Reactive Sputtering of Complex Multi-component Nitride Thin Films

Författare
Kristina von Fieandt
(Kristina von Fieandt.)
Genre
theses
Språk
Engelska
Förlag År Ort Om boken ISBN
Acta Universitatis Upsaliensis 2019 Sverige, Uppsala 71 sidor 978-91-513-0744-2
Acta Universitatis Upsaliensis 2019 Sverige, Uppsala 71