Silicon micromechanics with applications in optical scanning and sensing systems

Författare
Kari Gustafsson
Genre
theses
Språk
Engelska
Förlag År Ort Om boken ISBN
Univ., Almqvist & Wiksell International distributör 1988 Sverige, Uppsala, Stockholm 30 sidor. : ill., diagr. 25 cm 91-554-2265-9