Silicon nitride and oxynitride films
- Författare
- F. H. P. M. Habraken
- (F.H.P.M. Habraken and E.T. Kuiper)
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Elsevier Science S.A. | 1994 | Nederländerna, Amsterdam | S. [123]-175 : diagr. |
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Elsevier Science S.A. | 1994 | Nederländerna, Amsterdam | S. [123]-175 : diagr. |