Silicon nitride based coatings grown by reactive magnetron sputtering
- Författare
- Tuomas Hänninen
- (Tuomas Hänninen.)
- Genre
- Statlig publikation, theses
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Department of Physics, Chemistry and Biology, Linköping University | 2018 | Sverige, Linköping | 1 onlineresurs (xii, 58 sidor) | |
| Department of Physics, Chemistry and Biology, Linköping University | 2018 | Sverige, Linköping | xii, 129 sidor illustrationer | 978-91-7685-374-0 |