Silicon wafer bonding technology : for VLSI and MEMS applications

Författare
Subramanian S Iyer
Genre
Electronic books
Språk
Okänt
Förlag År Ort Om boken ISBN
2002 Utgivningsland okänt / Ej specificerat
Institution of Engineering and Technology - IET 2002 Utgivningsland okänt / Ej specificerat