Structure and properties of titanium- and hafnium-nitride films prepared by reactive magnetron sputtering
- Författare
- Bengt Olof Johansson
- (Bengt Olof Johansson.)
- Genre
- theses
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Dep. of physics and measurement technology Inst. för fysik och mätteknik, Tekn. högsk., VTT-graf. | 1984 | Sverige, Linköping, Vimmerby | 176 sidor. diagr., ill., tab. 25 cm |