The Eleventh Annual International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems : an investigation of micro structures, sensors, actuators, machines and systems : proceedings, January 25-29, 1998, Heidelberg, Germany
- Författare
- Germany) 1998 : (11th IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems Heidelberg
- Språk
- Okänt
Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
---|---|---|---|---|
uuuu-uuuu | Utgivningsland okänt / Ej specificerat |