The Eleventh Annual International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems : an investigation of micro structures, sensors, actuators, machines and systems : proceedings, January 25-29, 1998, Heidelberg, Germany

Författare
Germany) 1998 : (11th IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems Heidelberg
Språk
Okänt
Förlag År Ort Om boken ISBN
uuuu-uuuu Utgivningsland okänt / Ej specificerat