The science and engineering of microelectronic fabrication
- Författare
- Stephen A. Campbell
- (Stephen A. Campbell.)
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Oxford University Press | 2001 | USA, New York | xiv, 603 sidor. ill. 25 cm | |
| Oxford Univ. Press | 1996 | USA, New York | 475 sidor. : ill. 23 cm | 0-19-510508-7 |