Transmission electron microscopy of silicon VLSI circuits and structures
- Författare
- Robert B. Marcus
- (R.B. Marcus and T.T. Sheng)
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Wiley | cop. 1983 | USA, New York | 217 sidor. : ill. | 0-471-09251-7 |