Tribology in chemical-mechanical planarization
- Författare
- Hong Liang
- (Hong Liang, David Craven.)
- Genre
- Electronic books., Bibliografi
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Taylor & Francis | 2005 | Florida, Boca Raton, Fla | 185 sidor. ill. | 978-1-4200-2839-3 |