Wafer-scale vacuum and liquid packaging concepts for an optical thin-film gas sensor
- Författare
- Mikael Antelius
- (Mikael Antelius.)
- Genre
- theses
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| KTH Royal Institute of Technology | 2013 | Sverige, Stockholm | ix, 65 sidor. (PDF) | |
| KTH Royal Institute of Technology | 2013 | Sverige, Stockholm | ix, 65 sidor. : ill. | 978-91-7501-676-4 |